NKE案例｜硅片上的长城，由纳米堆砌

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2023年初，国内某知名半导体检测设备制造商面临着严峻挑战。其主力机型——晶圆缺陷检测设备所采用的进口直线模组，不仅采购成本高昂（单套超20万元）、交货周期长达6个月，更棘手的是，原厂技术支持响应缓慢，严重影响了设备交付和客户产线维护。随着半导体行业对检测精度和效率要求的不断提升，该客户急需寻找一款能够满足：

01  超高定位精度：重复定位误差≤±1μm

02  长期运行稳定：平均无故障时间（MTBF）≥50,000小时
03  洁净室兼容：满足Class 100洁净环境要求

04  快速响应服务：技术支持4小时响应，48小时到位的国产替代方案

破局：纳米级的进击，NKE半导体智造方案

经过深入的技术交流和样品测试，NKE凭借其ESL系列直线模组成功入选。该产品专为半导体行业打造，高速高加速度、高精度、额定推力范围:68N-460N、峰值推力范围:217N-1608N，具备四大核心技术优势：

1、精度控制技术

· 采用研磨级滚珠丝杠+高分辨率光学编码器的双闭环控制系统· 内置温度补偿算法，有效克服热伸长导致的精度漂移

· 实际测试重复定位精度达±0.2μm，优于客户要求

· 可以实现高速高加速运行，一般运行速度可达3-5m/s、加速度可达3-5G

2、多场景适应
· 可以在单一轴上实现多动子独立运行· 标准模组宽度由134/178/210三个系列组成，适用范围广

· 广泛适用于搬运、点胶、检测、对位、贴合等点位运动场合

3、防污染设计
· 采用挤压铝型材+NP系列平板有铁芯直线电机+高创/NKE驱动器组成，易用性好、性价比高· 运行过程中颗粒物产生量＜5个/立方米（满足ISO Class 5标准）

· 表面特殊涂层处理，耐腐蚀、防氧化

4、智能化维护

· 内置振动传感器和温度监测模块

· 支持远程状态监测和预测性维护

· 提供API接口，可与设备管理系统无缝集成

成效：从替代到超越的价值创造

经过三个月的严格测试和批量试用，中村精机直线模组展现出卓越性能：

经济效益显著
· 单台成本降低35%，每年为客户节约采购费用超300万元· 设备产能提升18%，检测吞吐量从每小时120片提升至142片

· 维护响应时间从2周缩短至48小时，设备综合效率（OEE）提升12%

客户评价
“NKE不仅提供了性能优异的产品，更重要的是他们的工程团队能够深入理解我们的工艺需求，提供了完整的定制化解决方案。从样品测试到批量供货，每个环节都体现了专业和高效。”

启示：国产精密制造的新突破

这个案例的成功，体现了NKE在精密运动控制领域的深厚积累：

技术深耕十年专注直线运动技术研发，累计获得47项相关专利，其中4项发明专利直接应用于半导体领域。

行业理解

深入理解半导体制造工艺要求，能够为客户提供”量体裁衣”式的定制化解决方案。
服务优势
建立快速响应机制：华东地区4小时技术响应，全国范围48小时现场支持。
生态合作
与多家半导体设备制造商建立联合实验室，共同开发下一代检测设备解决方案。

展望：助力中国半导体装备自主化

未来，NKE将继续加大研发投入，重点突破：
01、纳米级定位精度技术
02、真空环境应用解决方案
03、多轴协同运动控制算法
04、人工智能驱动的预测性维护
NKE在半导体场景的革新化案例证明，通过持续的技术创新和对客户需求的深度理解，中国精密制造企业完全有能力在半导体等高技术领域实现进口替代，为产业链自主可控提供坚实支撑。NKE将继续秉持”精工制造，服务产业”的理念，为中国半导体装备的发展贡献自己的力量。